9. Порядок работы.

9.1. Проверте наличие защитных средств и их исправность;

• диэлектрические перчатки;

• защитные кожуха на испарителях и поворотном устройстве;

9.2. Включите систему охлаждения.

9.3. Включите напряжение 380/220 В; включите автоматический выключатель  А1-В5; проконтролируйте сигнализацию блокировок и положения вентилей вакуумной системы; все должны находиться в закрытом состоянии.

9.4. Включите форвакуумный насос;

9.5. Откройте вентиль У7 форвакуумной откачки насоса высоковакуумного.

9.6. Включите насос высоковакуумный  У4. Насос выйдет на рабочий режим  через 60 мин.

9.7. Включите прогрев камеры, анодов и затвора поворотного.

9.8. Заполните камеру воздухом через пробку до атмосферного давления; прикройте слегка крышку камеры (технологический люк) ; откройте вентиль  У5 вентиляции камеры.

9.9. Включите вентиляцию камеры на 5 мин.

9.10. Откройте крышку камеры и загрузите обрабатываемые изделия, выполните указания технологической инструкции; закройте камеру; закройте пробку.

9.11. Закройте вентиль  У5 вентиляции камеры.

9.12. Закройте вентиль У7 форвакуумной откачки насоса высоковакуумного, откройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры.

9.13. Закройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры при достижении давления в камере  1,32 Па (1 *10 ^–2  мм рт ст.).

9.14. Откройте вентиль У7 форвакуумной откачки насоса высоковакуумного.

9.15. Откройте затвор поворотный У8.

9.16. Отключите прогрев камеры при достижении давления 6,5 *10 ^–3  па (5 *10 ^–5 мм рт ст), проверте охлаждение камеры в рабочем процессе.

9.17. Производите ионную очистку изделий в соответствии с технологической инструкцией, для чего:

• включите поворотное устройство (см.п. 5.2.5.);

• включите выпрямитель ионной бомбардировки  А5, установив необходимое напряжение; управление выпрямителем выполняйте  в соответствии с «Техническим описанием и инструкцией по эксплуатации» ф.14275 ТО;

• включите один или больше источников плазмы (по технологической инструкции) ; управление источниками питания электродуговых испарителей А2,А3,А4, выполняйте в соответствии с «Техническим описанием  и инструкцией по эксплуатации» ф.12580 ТО; установите необходимые токи источников плазмы;

• контролируйте давление в камере и температуру изделия; давление в камере не должно превышать 9,2….10,6 * 10 ^–3  Па (7….8 *10 ^–5  мм рт ст.). Отключите источник плазмы при превышении указанного давления в камере и включайте его после восстановления давления до значения 2,6…3,9 *10 ^–3  Па  (2…..3 *10 ^–5  мм рт ст.).

• переключите напряжение выпрямителя ионной бомбардировки на напряжение питания подложки по технологической инструкции после достижения температуры обрабатываемого изделия, указанной в технологической инструкции.

9.18. Произведите нанесение покрытия на изделие в соответствии с технологической инструкцией, для чего:

• включите клапан-натекатель (см. п. 5.2.6.); при помощи ручного вентиля клапана-натекателя установите давление рабочего газа в камере в соответствии с технологической инструкцией и настройте работу блока натекателя в диапазоне требуемых давлений с помощью ручки потенциометра на блоке натекателя А1-У6;

• включите нужное количество источников плазмы и установите необходимый ток дуги.

9.19. Отключите источники питания электродуговых испарителей по истечении времени нанесения покрытия на изделие, указанного в технологической инструкции.

9.20. Отключите клапан-натекатель ионной бомбардировки; закройте ручной вентиль клапана-натекателя.

9.21. Отключите выпрямитель ионной бомбардировки.

9.22. Отключите поворотное устройство.

9.23. Произведите выгрузку изделий, для чего:

• закройте затвор поворотный У8 после остывания изделий; время остывания изделий определяется технологической инструкцией;

• включите прогрев камеры;

• заполните камеру воздухом через пробку до атмосферного давления;

• приоткройте крышку камеры (щель 10….15 мм);включите вентиляцию камеры и откройте вентиль У5 на 15 мин, после чего закройте вентиль;

• откройте камеру и выгрузите изделия.

9.24. При повторном цикле работы необходимо произвести операци, указанные в п.п. 9.9.-9.23.

9.25. Для полного отключения установки произведите следующие операции:

• отключите высоковакуумный насос;

• закройте камеру, пробку;

• закройте вентиль У7 форвакуумной откачки высоковакуумного насоса;

• откройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры;

• отключите прогрев камеры после достижения давления в камере 1,32 Па (1 *10 ^–2  мм рт ст.)

• закройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры;

• откройте вентиль У7 форвакуумной откачки высоковакуумного насоса;

• закройте вентиль  У7 форвакуумной откачки высоковакуумного насоса через 20…30 мин. После выключения высоковакуумного насоса;

• отключите форвакуумный насос и, напустите атмосферный воздух через пробку в форвакуумную линию;

• отключите автоматический выключатель А1-В5.