8. Подготовка к работе.8.1. Включите автоматический выключатель В1 источников питания электродуговых испарителей А2,А3,А4 и выпрямителя ионной бомбардировки А5. 8.2. Установите устройство токовое задающее В1 на максимальный сигнал управления (блок У3 выпрямителя ионной бомбардировки А5). 8.3. Установите переключатель режима управления источников питания электродуговых испарителей А2, А3, А4 и выпрямителя ионной бомбардировки А5 в положение дистанционного управления («ДИСТ.»). 8.4. Установите переключатель режима работы В2 на источниках питания электродуговых испарителей А2, А3, А4 в положение постоянной работы («ПОСТ,»); включите питание схемы фокусировки и стабилизации тумблерами В12 и В13; установите тумблеры В3….В10 в требуемое положение («СОГЛ.» , или «ВСТР.»). 8.5. Включите автоматические выключатели А1-В1, А1-В2, А1-В3, А1-В4 на стойке управления; включите напряжение сети 380/220 В; включите автоматический выключатель А1-В5, а так же автоматические выключатели на блоке управления клапанами А1-У9 и дифузтонным насосом А1-У8. 8.6. Включите систему охлаждения установки. 8.7. Проверте вакуумную систему установки для чего:
8.8.
Определите герметичность собранного
агрегата « Булат 6», если не удается
достичь в камере давления 1,32 * 10 –3
Па (1 *10 –5 мм
рт ст.) или если давление
6,5 *10 –3 Па
(5 *10 –5 мм рт ст.) достигается за
время большее, чем 40 мин после открытия
клапана высоковакуумной
откачки. Герметичность установки
характеризуется натеканием.
Время измерьте секундомером. Подсчитайте величину натекания по формуле. Допустимое натекание не более 0,9 л мкм рт ст./с. 8.9. Определите места возможных течей с помощью течеискателя типа ПТИ-7, согласно инструкции на течеискатель. Для подключения течеискателя на форвакуумной линии предусмотрен грибок с пробкой. 8.10. Устраните обнаруженные течи. 8.11. Отключите автомат А1-В5. |