8. Подготовка к работе.

8.1. Включите автоматический выключатель В1 источников питания электродуговых испарителей А2,А3,А4 и выпрямителя ионной бомбардировки А5.

8.2. Установите устройство токовое задающее В1 на максимальный сигнал управления (блок У3 выпрямителя ионной бомбардировки А5).

8.3. Установите переключатель режима управления источников питания электродуговых испарителей А2, А3, А4  и выпрямителя ионной бомбардировки А5 в положение дистанционного управления («ДИСТ.»).

8.4. Установите переключатель режима работы В2 на источниках питания электродуговых испарителей А2, А3, А4 в положение постоянной работы («ПОСТ,»); включите питание схемы фокусировки  и стабилизации тумблерами В12 и В13; установите тумблеры В3….В10 в требуемое положение («СОГЛ.» , или «ВСТР.»).

8.5. Включите автоматические выключатели А1-В1, А1-В2, А1-В3, А1-В4 на стойке управления; включите напряжение  сети 380/220 В; включите автоматический выключатель  А1-В5, а так же автоматические выключатели  на блоке управления клапанами А1-У9 и дифузтонным насосом  А1-У8.

8.6. Включите систему охлаждения установки.

8.7. Проверте вакуумную систему установки для чего:

  • закройте все вентили вакуумной системы;

  • включите форвакуумные насосы (см. п.5.2.7.);

  • проконтролируйте работу аварийного клапана; клапан должен открываться через 4-6 сек после включения форвакуумного насоса;

  • откройте вентиль У7 форвакуумной откачки высоковакуумного насоса У4 (см.п.5.2.9.).

  • включите нагреватель высоковакуумного насоса (см.п.5.2.8.);

  • откройте вентиль А6 форвакуумной откачки камеры агрегата;

  • включите вакуумметр на стойке упрвления, в соответствии с инструкцией завода-изготовителя;

  • включите прогрев камеры (см. п.5.2.4.);

  • закройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры агрегата при достижении в камере давления 1,3 * 10-1  Па 1 * 10 – 3  мм рт ст.);

  • откройте затвор поворотный У8 через 60 мин после включения нагревателя высоковакуумного насоса и при давлении в камере  1,3 Па (1*10 –2 мм рт ст.);

  • отключите нагреватель высоковакуумного насоса после достижения в камере давления 1.32*10 –3 Па (1*10 –5  мм рт ст.);

  • отключите прогрев установки;

  • закройте затвор поворотный У8;

  • закройте вентиль форвакуумной откачки У6 насоса высоковакуумного через 40 мин после отключения нагревателя высоковакуумного насоса;

  • отключите форвакуумные насосы.

8.8. Определите герметичность собранного агрегата « Булат 6», если не удается достичь в камере давления 1,32 * 10 –3  Па (1 *10 –5  мм рт ст.) или если давление  6,5 *10 –3  Па (5 *10 –5 мм рт ст.) достигается за время большее, чем 40 мин после открытия клапана  высоковакуумной откачки. Герметичность установки характеризуется натеканием.
Величина натекания определяется по формуле
B = V(P2- P1) / t; где В – натекание , л,мкм рт ст/с; V -  откачиваемый объем, л; для установки расчетного объема за время  t, Р2 – Р1  -  изменение давления в откачиваемом объеме за время t , мкм рт ст.; t -  время, с.

  • откачайте камеру установки форвакуумным насосом до давления порядка 1,3 * 10 –1 Па (1 *10 –3 мм рт ст.);

  • закройте вентиль У6 форвакуумной откачки камеры;

  • измерьте величину  давление в камере с помощью лампы ПМТ-2 и вакуумметра непосредственно после закрытия вентиля и спустя некоторое время. Промежуток времени между двумя замерами выбирать в зависимости  от скорости изменения давления в камере.

Время измерьте секундомером. Подсчитайте  величину натекания по формуле. Допустимое натекание не более 0,9 л мкм рт ст./с.

8.9. Определите места возможных течей с помощью течеискателя типа ПТИ-7, согласно инструкции на течеискатель. Для  подключения течеискателя на форвакуумной линии предусмотрен грибок с пробкой.

8.10. Устраните обнаруженные течи.

8.11. Отключите автомат А1-В5.

7. Порядок установкиК оглавлению9. Порядок работы

Hosted by uCoz