10. Порядок разборки
источника плазмы.

10.1. Полная разборка источник плазмы производится в случае появления вакуумных течей, очистки изоляторов  и деталей от наплавленного металла и производится в следующем порядке (см. черт. ф.08260 СБ );

10.2. Снимите кожух поз.3, отвинтив 5 винтов поз.14.

10.3. Отсоедините провода электропитания в резиновые рукава водяного охлаждения.

10.4. Снимите источник плазмы с агрегата отвинтив 8 гаек. При этом снимается и изолятор поз.18.

10.5. Снимите резиновый уплотнитель поз.13 и изолирующие втулки поз.41.

10.6. Снимите крышку поз. 5 вместе с уплотнителем поз.30 и катодным узлом, отвинтив 3 гайки поз.63.

10.7. Отвинтите 3 винта поз.58 и снимите кольца поз.31 и 32.

10.8. Отсоедините провода от колодки клеммной поз75 и снимите катушку поз.2.

10.9. Отвинтите гайку поз22 и снимите наконечник  поз.7.

10.10. Снимите клемму поз.24.

10.11. Отсоедините провода поз.78, соединяющие электровводы с катодным узлом  (экран поз.4 и клемма поз.48).

10.12. Отвинтите гайку  поз.26 и отсоедините державку поз.6 с катодным узлом от крышки поз.5.

10.13. Извлеките детали поз. 25,27,28, 29 из под крышки.

10.14. Снимите с державки колпак поз.43, отвинтите гайку поз.33, снимите экран поз, 4: разберите катодный узел.

10.15. Отсоедините от экрана детали поджигающего электрода.

10.16. Сборка источника плазмы производится в обратной последовательности.