7. Порядок установки.

7.1. Помещение, в котором размещается установка, должно быть с плотными непротекающими потолками. Полы следует делать непылящимися (метлахская плитка, линолеум и др.)  Стены покрыты масляной краской светлых тонов. Коммуникации желательно делать скрытыми или окрашива масляной краской.

Помещение должно быть оборудовано общей приточно–вытяжной вентиляцией, согласно СниП 11-33-75. Воздухосборники приточной вентиляции должны быть снабжены пылеулавливающими фильтрами.

7.2. Все производственные участки необходимо размещать  в отдельных самостоятельно  вентилируемых помещениях.

7.3. Общее освещение желательно осуществлять газоразрядными лампами.  Освещенность не менее 3000 лк.

7.4. Установка оборудования, мебели, в том числе и рабочих столов, должна позволять проведение влажной уборки помещения не реже трех раз в неделю.

7.5. Рекомендуемое размещение оборудования установки показано на рис.2. Допускается и другие варианты размещения оборудования, выполненные с соблюдением правил размещения вакуумного и электрического оборудования.

Для размещения кабелей внешних присоединений ко всем функциональным узлам установки должны быть предусмотрены кабельные каналы.

7.6. Установите агрегат «Булат 6» (А6) источники питания электродуговых испарителей (А2, А3, А4), стойку управления (А1) и выпрямитель ионной бомбардировки (А5) без перекосов согласно планировки.

7.7. Выполните сборочные операции на агрегате «Булат 6» по черт. Ф.13595 СБ (Ф.13595-01 СБ).

• установите на камеру вместо заглушек источники плазмы ф. 08260 с анодами ф.09490 и устройство поворотное ф.10380;

• установите вентиль вакуумный на верхнем патрубке затвора поворотного;

• установите блок манометрических преобразователей;

• установите баллон для азота 20П-150 Л и установите на него редуктор;установите баллон для азота 20П-150 Л и установите на него редуктор;

• установите форвакуумные насосы и подсоедините их к к форвакуумной линии, предварительно сняв заглушки;

7.8. Подсоедините установку к системе водоснабжения (ф.13595 Г4).

ВНИМАНИЕ! Система водоохлаждения работает только со свободным сливом воды!

7.9. Подсоедините агрегат к отсасывающей вентиляции. Отсасывающая вентиляция подсоединяется непосредственно к агрегату через вентиль вакуумный (см. п.7.7).

7.10. Выполните заземление составных частей установки, проверьте надежность заземления.

7.11. Выполните все необходимые монтажные работы на агрегате по черт. Ф.13595 СБ, ф.13595 Г4 и ф.13595 МЭ.

7.12. Выполните все внешние электрические соединения агрегата по черт. Ф.10000-02 ТЭ4. Кабели внешних соединений должны быть надежно защищены от механических повреждений.

7.13. Проверьте наличие масла в форвакуумных насосах.

7.14. Откройте вентили системы охлаждения и прогрева и убедитесь в отсутствии течей; проверьте срабатывание всех реле  протока: А6-Р1, А6-Р2, А6-Р3, А6-Р5.

7.15. Убедитесь внешним осмотром  в отсутствии повреждений аппаратов, проводов, кабелей.

7.16. Откройте крышки камеры агрегата, снимите кожух на источниках плазмы: проверте сопротивление изоляции между катодами и камерой; сопротивление должно быть не менее 1 МОм. Закройте крышки и кожухи.

7.17. установите выпрямитель ионной бомбардировки ф.14275 в соответствии с «Техническим описанием и инструкцией по эксплуатации ф.14275 ТО (раздел «Порядок установки»).

7.18. Установите источники питания электродуговых испарителей ф.12580 в соответствии с «Техническим описанием и инструкцией по эксплуатации» ф.12580 ТО (раздел « Порядок установки»).

7.19. Установите выключатель  А1-В1, А1-В3, А1-В4 в положение «Отключено»; включите напряжение сети 380/220 В автоматическим выключателем А1-В5.

7.20. Убедитесь в правильности фазировки приводов вентилей У5,…..У8 вакуумной системы кратковременным включением (см. п.5.2.9.).

7.21. Убедитесь в правильности фазировки двигателей М2,И3 форвакуумных насосов кратковременным включением (см. П.5.2.7.)

7.22. Отключите автоматический выключатель А1-В5.