13. Характерные неисправности
и методы их устранения.

13.1. При аварийном выключении электроэнергии необходимо:

• отключить приборы для измерения вакуума;

• немедленно закрыть все вакуумные вентили;

• отключите автоматический выключатель А1-В5;

• отключить блок натекателя А1-У6; закрыто ручной вентиль клапана-натекателя;

• выяснить причину неисправности и устранить ее.

13.2. При аварийном выключении воды необходимо:

• отключить ионизационный датчик  вакуумметра ПМИ-2;

• выяснить причину неисправности и устранить ее.

13.3. При резком изменении давления в установке или при колебании стрелки вакуумметра, что может быть при нарушении герметичности установки, необходимо:

• отключить вакуумметр;

• закрыть клапан форвакуумной откачки У7 высоковакуумного насоса;

• отключить автоматический выключатель А1-В5;

• выяснить неисправность и устранить ее.

13.4. В случае перегорания нагревателя высоковакуумного насоса закрыть затвор поворотный  У8 и заменить нагреватель.

13.5. При частых самопроизвольных погасаниях дуги может быть:

• ток дуги меньше тока устойчивого горения дуги;

• натекание газа через уплотнения в области источника плазмы или через трещины в испаряемом материале;

• повышение газовыделения в области катода;

• трещины, раковины посторонние включения в материале катода;

• неисправности в источнике питания электродугового испарителя (см. « Техническое описание  и инсрукция по эксплуатации ф.12580 ТО).

13.6. Причиной отсутствия поджига дуги после ее погасания или затруднительного поджига (дуга загорается после нескольких импульсов) может быть:

• разрушение изолятора поджигающего устройства в источнике плазмы;

• выход из строя какого либо элемента  в схеме поджига или неисправность в схеме отключения питания стабилизирующей  и фокусирующей  катушек (см. «Техническое описание  и инструкция по Эксплуатации ф.12580 ТО).

13.7. Причиной больших токов микродуг в процессе ионной очистки изделия или токовой защиты могут быть неисправности  в блоке токовой защиты (см. Техническое описание  и инструкция по эксплуатации» ф.14275 ТО).

13.8. Ремонтные работы на установке производить только при отключенной системе электропитания.

13.9. Перед снятием водоохлаждаемых узлов для ремонта предварительно удалите воду сжатым воздухом  из охлаждаемых полостей.

13.10. При ремонте источников плазмы обратите особое внимание на качество выполнения и вакуумных уплотнений.