|
№
|
Что
проверяется и при помощи какого
инструмента , приборов и
оборудования, методика проверки.
Периодичность .
|
Технические
требования
|
|
1.
|
Проверить
состояние испаряемого материала (катода).
Визуально.
Штангенциркуль. При замене катода.
|
Испаряемый
материал не должен иметь трещин, в
глубине катода выгорание
не должно превышать 10…15 мм
|
|
2.
|
Проверить
кольцевой зазор между
дополнительным анодом
и материалом (катодом). Щуп. После
каждого цикла нанесения покрытия
|
Величина
кольцевого зазора не должна
превышать 1,5
мм
|
|
3.
|
Проверит
величину сопротивления между
источником плазмы и камерой.
Ампервольтомметр. После замены
катода.
|
Величина
сопротивления должна быть не менее 1
МОм
|
|
4.
|
Проверить
состояние изоляции между
устройством поворотным
(подложкой ) и камерой. Мегомметр.
Раз в месяц и после ремонтных работ
|
Величина
сопротивления должна быть не менее 20
МОм
|
|
5.
|
Проверить
работу устройства поворотного.
Визуально. В начале каждого цикла
нанесения покрытия
|
Шпиндель
устройства поворотного должен
вращаться плавно, без рывков.
|
|
6.
|
Проверить
наличие масла в форвакуумном насосе.
Визуально по указателю уровня, раз в
смену
|
Уровень
масла должен находиться на отметке.
|
|
7.
|
Проверить
наличие и исправность блокирующих
устройств. Визуально. Мегомметр. Раз
в полгода и после ремонтных работ
|
Сопротивление
блокирующих устройств должно быть не
менее 1000 кОм.
|
|
8.
|
Проверку
технического состояния источника
питания электродугового испарителя
и выпрямителя ионной бомбардировки
ом. Соответствующие технические
описания и инструкции по
эксплуатации ф.12580 ТО и ф. 14275 ТО
|
|
