5. Устройство и работа установки "Булат 6".

5.1. Устройство агрегата « Булат 6»

5.1.1. Основные составные части агрегата: 
камера, подставка, источники плазмы, аноды, устройство поворотное, линия форвакуумная, ввод датчика пирометра, система напуска рабочего газа, окно смотровое.

5.1.2. Камера представляет собой цилиндрический сосуд с внутренним диаметром  500 мм и длиной 500 мм. Ось камеры расположена горизонтально . на обоих торцах камеры на петлях крепятся крышки. В нижней части камеры имеется четыре кронштейна . в кронштейнах крепятся установочные винты, при помощи которых камера выставляется в нужном положении.

На камере и крышках расположены шесть патрубков  с фланцами  (четыре на камере и по одному на крышке), к которым крепятся: ввод датчика пирометра (или окно смотровое), устройство поворотное, источники плазмы с анодами. Затвор поворотный ЗП-250У. Все  фланцы одинаковы, что дает возможность устанавливать на них ввод датчика пирометра, окно смотровое, устройство поворотное и источники плазмы с анодами на любой из них так, как это нужно и удобно для ведения технологического процесса.

На верхней части камеры расположены штуцер для напуска рабочего газа и кронштейн  для крепления клапана-натекателя.

К корпусу камеры и крышкам припаяны медные трубки, по которым протекает вода (горячая в режиме прогрева и холодная в режиме нанесения покрытия).Все разъемные соединения на камере имеют уплотнения из вакуумной резины. Камера соединяется с насосом высоковакуумным затвором ЗП-250У. На затворе установлена пробка для напуска атмосферного воздуха  в камеру, блок манометрических преобразователей и вентиль системы вентиляции.

5.1.3. Подставка предназначена для установки на ней камеры с затвором, щита конденсаторов. Насоса высоковакуумного и нагревателя индукционного. В подставке гребенки водяной системы, на которых установлены реле протока жидкости, регулирующие и запорные вентили.

5.1.4. Источник плазмы предназначен для создания потока плазмы из материала катода. В качестве катода могут быть использованы различные металлы и сплавы. Источник плазмы состоит из следующих основных конструктивных элементом.:

  • Фланец поз, 1

  • Катушка поз. 2

  • Крышка поз. 5

  • Катодный узел;

  • Экран поз.4 с поджигающим устройством;

  • Электровводы поз.9.

Катушка поз.2 устанавливается на фланце поз 1, фиксируется упором поз.47, в определенном положении и закрепляется тремя винтами поз58. завинченными в кольцо поз. 32.

Катодные пятна, перемещаются по круговым траекториям на испаряемом торце катода, являются источником плазменных струй. Изменяя величину электромагнитного поля катушки, устанавливают такой средний радиус траекторий катодных пятен, чтобы обеспечить более равномерное испарение материала на торце катода.

Катодный узел расположен в центре крышки поз.5 и включает в себя катод поз37, элементы водяного охлаждения, вакуумного уплотнения и токопроводы. На держаке катодного узла закреплен экран поз.4, который препятствует горению дугового разряда на боковой поверхности катода и деталях катодного узла и является одним из электродов устройства поджигающего.

На экране поз.4 имеется съемное кольцо . При длительной работе источника плазмы кромка центрального отверстия в съемном кольце обгорает, кольцевой зазор между съемным кольцом экрана и катодом нарушается, что приводит к нестабильному горению дуги. Этот дефект устраняется заменой съемного кольца.

Катод представляет собой монолитный цилиндр, на водоохлаждающем торце которого имеется наружная резьба и кольцевой выступ для обеспечения вакуумного уплотнения катода. Торец выступа, который соприкасается с резиновым уплотнителем, не должен иметь вмятин и радиальных царапин.

Гайкой поз.36 катод через уплотнитель поз.35 прижимается к державке поз.6.

На другом конце державки закреплен наконечник поз.7, через который подается к катоду вода. Подвод  (и отвод) воды к источникам плазмы должен быть выполнен согласно « Схемы гидравлических соединений Ф13595 Г4.

Уплотнение между державкой и наконечником  осуществляется резиновым уплотнителем поз.19, кольцом поз.20 и гайкой поз. 26. Втулки и уплотнитель электрически изолируют катодный узел от крышки поз.5.

Катодный узел подключается к силовой сети через клемму поз.24. необходимо тщательно следить за отсутствием царапин , трещин и др. дефектов на поверхности державки, корпуса фланца, изолятора и др. деталей , соприкасающихся с резиновыми уплотнителями.

Устройство поджигающее служит для создания пускового разряда и состоит из экрана поз. 4, электрода поз.38, деталей служащих для их закрепления, и электродов поз.9. описание работы устройства поджигающего  смотри подраздел 5.2.

На крышке поз.5 расположен патрубок закрытый пробкой поз.69, через который вводится трубка датчика пирометра. Снаружи источник плазмы закрыт кожухом, который крепится к фланцу винтами.

5.1.5. Анод представляет собой цилиндрический водоохлаждаемый  плазмовод, на наружной поверхности которого размещены катушки фокусирующего соленоида. Внутри корпуса анода расположены вставки с кольцами  из нержавеющей стали. Эти кольца задерживают макрочастицы (капли, твердые осколки), которые образуются при испарении материала катода, и очищают от них поток плазмы чем достигается улучшение качества наносимых покрытий.

5.1.6. Устройство поворотное служит для вращения обрабатываемых изделий в сруе  испаряющегося материала катода, что обеспечивает  равномерное нанесение  покрытия.

Устройство поворотное состоит из крышки, к которой с одной стороны крепится шпиндель, а с другой стороны мотор- редуктор. Между крышкой и мотором-редуктором  установлено  диэлектрическое5 кольцо. Крышка изолирована от камеры диэлектрическим  изолятором и втулками.

Вакуумное уплотнение между крышкой и камерой осуществляется двумя резиновыми уплотнителями.

Вал мотор-редуктора через муфту соединен с валом шпинделя, вал шпинделя через вакуумное уплотнение  проходит внутрь  камеры и заканчивается специальным хвостовиком, на котором крепится необходимое приспособление с закрытыми или установленными на нем обрабатываемыми (напыляемыми) изделиями.

Устройство поворотное может быть установлено на любой патрубок камеры, и работать как с вертикальным, так и с горизонтальным расположением оси вала электродвигателя.

Устройство поворотное закрыто  диэлектрическим кожухом, т.к. к нему при нанесении покрытий на изделия подводится высокое напряжение.

5.1.7. Ввод датчика пирометра предназначен для установки прибора, определяющего температуру обрабатываемых (покрываемых) изделий.  Наличие шарнира с вакуумным уплотнителем  позволяет определять температуру  в различных точках.

5.1.8. Окно смотровое служит для визуального наблюдения за процессом нанесения покрытия на изделия. Внутреннее сменное стекло, по мере его запыления. Необходимо периодически очищать или заменять на новое.

5.1.9. Система напуска рабочего газа состоит из баллона, редуктора, клапана – натекателя и трубопроводов.

Клапан-натекатель предназначен для дозированного напуска газа в вакуумный объем и поддержания в нем заданного давления. Клапан-натекатель функционально  состоит из двух частей: натекателя и электромагнитного клапана. Натекатель состоит из корпуса с медным седлом, запорно-регулирующего устройства, включающего в себя иглу, сильфонный узел, пружину, дифференциальную винтовую передачу и маховик. Перемещение иглы натекателя производится вращением маховика вручную.

Электромагнитный клапан состоит из катушки, внутри которой находится якорь  с резиновым уплотнителем, пружины, крышки. Штепсельного разъема и накидной гайки, крепящей клапан к корпусу натекателя.

Клапан – натекатель  работает в комплекте с блоком управления и вакуумметром ВИТ-3.

5.1.10. Линия форвакуумная представляет собой трубопровод, соединяющий механический форвакуумный насос с камерой и с насосом высоковакуумным паромаслянным.

На линии форвакуумной установлены  клапан электромагнитный, два вентиля вакуумных, два вентиля запорных сильфонных и блок манометрического преобразователя.

Компенсатор (сильфонный)  препятствует передаче вибрации, возникающей при работе механического форвакуумного насоса, остальным частям агрегата.

5.1.11. Система водяная ( позиционные обозначения основных элементов  см. Ф13595 Г4) состоит из гребенок, вентилей, трубопроводов, нагревателя индукционного, реле протока жидкости и предназначена:

  • В режиме подготовки агрегата  к работе для прогрева его горячей водой, с целью обезгазить внутренние поверхности камеры. Крышек камеры, фланцев источников плазмы, анодов и затвора поворотного ЗП-250У (температура прогрева около 60оС). Для этого необходимо включить нагреватель индукционный НГ1 (вентиль ВНЭ1 закрыт).

  • В рабочем режиме, при включенном нагревателе индукционном  - охлаждать камеру , крышки камеры. аноды, затвор поворотный ЗП-250У  (вентиль ВНЭ1 открыт).

Насос высоковакуумный и источники плазмы охлаждаются постоянно, как в режиме прогрева, так и в рабочем режиме.

Для контроля протока воды в ветвях системы охлаждения источников плазмы и насоса высоковакуумного установлены реле протока жидкости.

Разводка воды по агрегату  «Булат 6» осуществляется медными трубками и резиновыми рукавами.

Система охлаждения работает только со свободным сливом воды!

5.1.12. Описание устройства и работа насоса высоковакуумного, вентилей вакуумных, клапана электромагнитного и механического форвакуумного насоса см. соответствующие инструкции заводов поставщиков.

5.2. Устройство и работа электрооборудования.

5.2.1. Электрооборудование установки «Булат 6» состоит из следующих частей (см. черт. Ф.10000-02  Э3):

а) Трех источников питания электродугового испарителя Ф.12580, предназначенных для питания электродугового разряда в источниках плазмы; конструктивно источник питания электродугового испарителя представляет собой стойку блочной конструкции; входные цепи выведены на блоки зажимов, силовые цепи – на клеммы Кл1,Кл2, цепи поджига – на разъемы (У2) Ш3 и (У2) Ш4;
устройство и работу источника питания электродугового испарителя см. «Техническое описание и инструкция по эксплуатации» Ф. 12580 ТО;

б) выпрямителя ионной бомбардировки Ф.14275, предназначенного для создания высоковольтного потенциала на подложке в режиме очистки изделия,  и питания подложки в режиме напыления; конструктивно выпрямитель представляет собой стойку блочной конструкции; выходные цепи выведены на блок зажимов, а высоковольтные  - на клеммы «+» и «-« ; устройство и работу выпрямителя ионной бомбардировки см. Ф. 14275 ТО;

в) панели конденсаторов Ф.11512, установленной на подставке агрегата; панель конденсаторов содержит разрядные конденсаторы  и резисторы схемы поджига дуги источников плазмы, реле блокировок, выпрямитель питания клапана вакуумной системы, а также блок зажимов внешних цепей агрегата и клеммы силовых цепей;

г) стойки управления ф11504, предназначенной для управления технологическим процессом нанесения упрочняющих покрытий на установке «Булат 6М», контроля параметров , сигнализации и блокировки; конструктивно стойка управления представляет собой стойку блочной конструкции; выходные цепи выведены на  блоки зажимов А1-111……А1-117. Стойка управления содержит блоки дистанционного управления источниками питания электродуговых испарителей и высоковольтным  выпрямителем , что позволяет устанавливать  их в отдельном помещении и управлять ими дистанционно со стойки управления, что создает удобство при эксплуатации установки.

5.2.2. Стойка управления содержит следующие блоки управления;

а) блоки дистанционного управления источниками плазмы А1 – У1; А1-12, А1 – У3;

б) блок дистанционного управления выпрямителем А1-У4;

в) блок управления нагревателем  и устройством поворотным  А1-У5;

г) блок натекателя А1 –У6;

д) блок управления форвакуумными насосами А1-У7;

е) блок управления диффузионным насосом А1-У8;

ж) блок управления клапанами А1-У9;

В стойке управления размещены так же вакуумметр  А1-Ип1, общий автоматический выключатель  А1-В5  и автоматические выключатели  источников питания электродуговых испарителей А1-В1, А1-В2, А1-В3 и выпрямителя ионной бомбардировки А1-В4, магнитный пускатель  нагревателя А1-Р1, сигнальная лампа о наличии напряжения А1-Л1 с добавочным сопротивлением А1-R1.

5.2.3. Блок дистанционного управления источником плазмы предназначен для дистанционного управления источником питания электродугового испарителя. Схема блока представляет собой дублирующие цепи управления, сигнализации и измерения источника питания электродугового испарителя: кнопка Кн 3 – включение, КН 2 – отключение источника питания; переключатель В1 – переключение режима работы  - постоянный, импульсный; резистор R1 – регулировка тока дуги, R2 -  регулировка тока фокусирующего соленоида; кнопка Кн 1 предназначена  для снятия блокировки перегрузки по току; амперметр А1 предназначен для измерения тока дуги ; лампы Л1,Л2,Л3, сигнализируют соответственно включение источника питания, нарушение блокировок, перегрузку по току. Звонок  Зв 1 предназначен  для аварийной звуковой сигнализации при нарушении блокировок  и перегрузках по току.

Внешние цепи боков дистанционного управления испарителями А1-У1, А1-У2, А1-У3 выведены соответственно  на блоки зажимов А1-П1, А1-П2, А1-П3.

Переключатель местного и дистанционного управления находится на источнике питания электродугового испарителя.

При нажатии кнопки Кн3 включается источник питания А2, и на электродах источника плазмы («+», «-«) появляется напряжение  холостого хода  источника питания; срабатывает схема поджига дуги, напряжение высоковольтного импульса прикладывается  к устройству поджига  (клеммы 4 и 5 источника плазмы ИД1) и происходит пробой разрядного промежутка по поверхности диэлектрика. При этом ионизируется пространство между экраном, являющимся одним из электродов  устройства поджига, и катодом  источника плазмы, что приводит к разряду конденсаторов  С1, С2, предварительно заряженных до напряжения холостого хода источника питания. Мощность второго разряда достаточна для ионизации межэлектродного пространства катод  -  анод,  в результате чего возникает электродуговой разряд между катодом и анодом.

Заряд конденсаторов С1.С2 происходит через резистор R1.

Питание стабилизирующего  (клеммы 1,2 источника плазмы ИД1) и фокусирующего  (L1)  соленоидов осуществляется от схемы источника питания.

Схема источника плазмы ИД2, ИД3 работают аналогично.

Контроль охлаждения источников плазмы осуществляется с помощью реле протоков Р1, Р2,Р3, размыкающие контакты  которых включены в схему управления и сигнализации источников питания.

Кроме того, параллельно указанным контактам  включены размыкающие контакты реле Р4, катушка которого включена  через контакты конечных выключателей крышек камеры В1,В2 и устройства поворотного В3. При прекращении подачи воды для охлаждения катодов или нарушении указанных блокировок  отключается питание источников плазмы и срабатывает световая и звуковая сигнализации.

5.2.4. Блок дистанционного управления выпрямителем  ионной бомбардировки А1-У4 предназначен для дистанционного управления выпрямителем . Схема блока представляет собой дублирующие цепи управления сигнализации и измерения выпрямителя ионной бомбардировки: кнопка Кн1 – включение. Кн 2 – отключение выпрямителя; кнопочный переключатель В1 – переключение ступеней напряжения выпрямителя; резистор R1 – плавная регулировка напряжения на каждой ступени; вольтметр  V1 – измерение выходного напряжения на всех ступенях ; лампа Л1 – сигнализация включения выпрямителя,  Л2….Л7 включение определенной ступени напряжения.

Внешние цепи блока выведены на блок зажимов А1-П4.

Переключатель местного и дистанционного управления находится на выпрямителе ионной бомбардировки.

При нажатии Кн1 включается напряжение цепей упраления выпрямителя.  Для подачи выходного нарпяжения на подложку необходимо накатать соответствующую  требуемой ступени напряжения кнопку переключателя В1. Положительный полюс выпрямителя присоединен к корпусу камеры, а отрицательный к подложке.

Конденсатор С7, установленный на панели конденсаторов , шунтирует выход выпрямителя. Включение выпрямителя ионной бомбардировки возможно только при закрытых крышках камеры и устройства поворотного.

5.2.5. Блок управления индукционным нагревателем  и устройством поворотным А1-У5 предназначен для управления прогревом камеры и механизмом вращения подложки. Схема управления устройством поворотным  содержит кнопки Кн1, Кн2, пускатель р1 и сигнальную лампу Л1 с lобавочным сопротивлением  R1. При нажатии кнопки Кн2 включается пускатель Р1 и напряжение сети подается на провод поворотного устройства М1 через предохранитель Пр 1….Пр 3.

Схема управления прогревом содержит кнопки Кн3,Кн4, пускатель А1-Р1, установленный вне блока, промежуточное реле Р2, реле контроля наличия потока воды А6-Р5, индукционный нагреватель  А6-Н1 и электромагнитный клапан  в системе охлаждения А6-Эм1, сигнальные лампы Л2 и Л3 с добавочным сопротивлением  R2. При отключенном прогреве контакт пускателя А1-Р1 в цепи электромагнита А6 -  закрыт и электромагнит включен. Это обеспечивает дополнительный поток воды в систему охлаждения камеры по ветви. Шунтирующий нагреватель  А6-Н1. При включении прогрева камеры кнопкой Кн3 срабатывает пускатель А1-Р1, замыкаются контакты в цепи питания индукционного нагревателя А6-Н1 и размыкаются контакты в цепи питания индуктивного нагревателя А6-ЭМ1. При этом клапан закрывается, шунтирующая ветвь  системы охлаждения перекрывается и вода поступает только через индукционный нагреватель А6-Н1, обеспечивая необходимую температуру прогрева камеры. Если по какой либо причине прекращается подача воды, контакторы реле протока А6-Р5 размыкаются и срабатывает промежуточное реле П2, что приводит к отключению прогрева. Кроме того контакторы реле В2 включены в цепи управления диффузионного насоса  (цепи 320, 321). Лампа Л2 сигнализирует отсутствие потока воды , Л3 – включение прогрева.

5.2.6. Блок натекателя А1-У6 предназначен для стабилизации давления рабочего газа в вакуумной камере установок типа «Булат».

5.2.6.1. Стабилизация давления рабочего газа в камере осуществляется замкнутой системой автоматического регулирования, состоящей из датчика давления, вакуумметра , блока натекателя и клапана-натекателя. Блок натекателя отрабатывает сигнал управления, усиливает его  и выдает сигнал  на испытательный механизм  клапана – натекателя. Блок – схема блока натекателя показана на рис.1.

5.2.6.2. С помощью блока натекателя возможно одновременное управление двумя клапанами – натекателями. Это реализуется с помощью двух совершенно идентичных каналов управления, поэтому в дальнейшем будем рассматривать  один канал управления клапаном – натекателем . Схема блока натекателя может работать от вакуумметра ВИТ-2, имеющего выходной сигнал  0……2,2 В. Выбор схемы осуществляется кнопочным переключателем (П) . На компараторе происходит сравнивание величины входного сигнала с сигналом задачи. Напряжением рассогласования между сигналом задачи и сигналом пропорциональным давлению рабочего газа  в камере определяют, в каком из двух устойчивых положений находится компаратор, а значит  - открыт или закрыт клапан-натекатель.

Работа принципиальной схемы блока – натекателя осуществляется следующим образом  (см.Ф.10755 Э3). Сигнал постоянного напряжения пропорциональный давлению рабочего газа в камере установки, поступает с выхода вакуумметра на вход схемы блока-натекателя  (контакты 5,10) или 15,20 разъема ХР1). Положение переключателя А1-5В1 набирается в зависимости от типа прибора  ВИТ-2 или ВИТ-3. При подключении к блоку натекателя вакуумметра ВИТ-2, входной сигнал  на схему компаратора, собранную на микросхеме DA1, поступает через резистор А1-R6, а при подключении ВИТ-3 через резистор  А1-R7. Резисторы А1- R6 и A1 – R7 определяют входное сопротивление компаратора при различных источниках входного сигнала.

На входе микросхемы А1-DA1 для защиты от перенапряжений установлены диоды  А1-VD4. Подстроечный резистор  А1-R7 служит для установки необходимого гистерезиса выходной характеристики компаратора.

С помощью делителя A1-R2-R1-A1-R4 задается уровень срабатывания компаратора. Если уровень входного сигнала ниже порога  срабатывания компаратора , на выходе 10 микросхемы  A1-DA1 наблюдается положительное напряжение, которое через резистор A1-R12 подается на базу A1-Vt1. Транзисторы A1 – VT1 и A1-VT2 открыты. На входе схемы  (контакторы 3,4 или 13,14 разъема ХР1) постоянное напряжение, которым запитан электромагнит клапана –натекателя.

Клапан -натекатель открыт и происходит напуск газа в вакуумную камеру . Светится диод VD3, сигнализируя напуск газа. По мере повышения давления в камере увеличивается входной сигал и после достижения порога срабатывания, напряжение на выходе компаратора  падает, транзисторы  А1-VT1, A1-VT2 запираются, прекращая подачу газа  в вакуумную камеру. Диод VD 3 гаснет . Диод A1-VD6 служит для защиты от перенапряжений, возникающих на катушке электромагнита  клапана-натекателя.

Питание платы компаратора А1 осуществляется напряжением 220 В, 50 Гц через трансформатор TV1, имеющий две вторичные обмотки 30 В и 40 В с выведенной средней точкой.

Напряжение 40 В выпрямленное мостовым выпрямителем VZ 7 служит  для питания электромагнита клапана-натекателя. Напряжение 30 В с выведенной средней точкой, выпрямленное мостовым выпрямителем, подается на схему компаратора. Стабилитроны А1-VD1  А1-VD2 образуют параметрический стабилизатор. Конденсаторы А1-С1, А1-С2, а1-С3 служат для сглаживания пульсаций выпрямленного напряжения.

Блок питания электроклапана


Рисунок 1

Если уровень входного сигнала меньше уровня сигнала задачи на выходе компараора  (точка 5) появляется напряжение, которое через стабилитрон Е1-Д7, ограничительный резистор Е1-R6 и светодиод Е1-Д8 подается на базу транзистора Е1 –Т2.  На выходе схемы (клеммы 3,4 разъема Ш1) появляется напряжение 12 В, которое подается на электромагнит клапана-натекателя  А6-У2 (цепи 271,272). Клапан – натекатель открывается и происходит напуск газа  в вакуумную камеру.  Светится диод Д8(зеленый). Сигнализируя напуск газа. По мере повышения давления в камере увеличивается входной сигнал и после достижения уровня сигнала задачи исчезает  сигнал на входе компаратора . транзистор Е1-Т2 запирается , напряжение на выходе блока исчезает. Электромагнит клапана – натекателя теряет питание и клапан закрывается, прекращая подачу газа в вакуумную камеру.

После запирания тразистора Е1-Т2 появляется напряжение на базе транзистора  Е1-Т3. Транзистор отпирается, образуется цепь питания светодиода Д10 (красный), сигнализирующего закрытие клапана – натекателя.

Диод Д9, шунтирующий выходные цепи. Предназначен для защиты от перенапряжений. Возникающих на катушке электромагнита клапана-натекателя.

Питание блока натекателя осуществляется напряжением 220 В 50 Гц через тр-р  Тр1 имеющий две вторичные обмотки : 12 В – для питания схемы компаратора  и выходных цепей блока; 18  В – для питания схемы предварительного усилителя. Включение схемы питания производится тумблером  В1. Схема содержит также  предохранитель Пр1 и сигнальную лампу Л1 с добавочным сопротивлением R1.

Напряжение 12 В выпрямляется выпрямительным блоком  Е1-Д1 сглаживается конденсатором С1 и подается на стабилизатор, содержащий транзистор Е1-Т1 и стабилитрон Е1-Д2. С выхода стабилизатора напряжение подается, как опорное на вход компаратора.

Питание предварительного усилителя осуществляется от обмотки трансформатора 18 В. Напряжение 18 В выпрямляется выпрямительным блоком  Д1, сглаживается конденсаором С1 и подается на стабилизатор, собранный на микросхеме Ст1. В схеме предусмотрено отключение стабилизатора  в случае превышения током нагрузки величины 50 мА. Величина тока нагрузки устанавливается резисторами R1, R2, R3. Емкости С2 и С3 служат для предотвращения самовозбуждения стабилизатора . Величина выходного напряжения определяется делителем  R4,R5,R6. Резистором R4 осуществляется точная установка  выходного напряжения; емкости конденсаторов  С4,С5 служат для дополнительного сглаживания выходного напряжения.

5.2.7.

Блок управления форвакуумными насосами А1-У7 предназначен для управления и питания приводов форвакуумных насосов  М2 и М3 Схема содержит предохранители  Пр1…Пр6, установленные в силовых цепях. Кнопки управления Кн1 Кн2, переключатель В1. Пускатели р1,Р2, реле времени Р3 и сигнальные лампы Л1…Л4 с добавочными резисторами R1,R2,R3. Переключатель В1 предназначен дя выбора включенных насосов : положение 1 – включен форвакуумный насос М3, положение 2 – оба насоса, положение –3  - форвакуумный насос М2. При нажатии кнопки Кн 2 срабатывает пускатель  Р1,Р2, либо оба пускателя. В зависимости от положения переключателя В1. При этом подается напряжение на приводы насосов и загораются лампы Л3 и Л4, сигнализирующие  о включении насосов. Одновременно с включением  пускателей напряжение питания подается на катушку реле времение Р3. Замыкающий контакт которого включен в цепь питания клапана  аварийного  У3.  (см. Ф13820 Э3. Рис. 2, рис. 3) Через некоторое время (1,5 – 5 с) после пуска насосов контактор реле Р3 замкнется,  появится напряжение  на катушке электромагнита  аварийного клапана, и клапан откроется. Сигнализация о положении аварийного клапана («Открыт», «Закрыт») осуществляется  сигнальными лампами Л1 и Л2,  напряжение питания на которые подается через контакты конечного выключателя клапана.

Схема питания клапана в зависимости от типа применяемого клапана имеет два исполнителя. На рис.2 черт. Ф13820 Э3 показана схема питания клапана типа КМУ-63. А на рис.3 черт. Ф13820 Э3 – клапана КМУ-50. Напряжение питания клапана КМУ-50 равно 24 В, поэтому схема питания клапана содержит понижающий трансформатор Тр 1. Выпрямитель Д1…Д4 и сглаживающий конденсатор С8. Первоначально Напряжение подается на пусковую катушку, а катушка  удержания закорочена. После срабатывания клапана подключается катушка удержания. Реле Р6 служит для размножения контактов конечного выключателя.

5.2.8. Блок управления диффузионным  насосом А1-У8 предназначен для управления и питания нагревателя диффузионного насоса. Схема содержит автоматический выключатель В1 в силовой цепи  нагревателя. Предохранитель Пр1 в цепи управления, кнопка управления Кн1, Кн2, пускатель Р1, промежуточное реле Р2 Р3, сигнальные лампы  Л1,Л2,Л3 с добавочными резисторами R1,R2 и звонок аварийной сигнализации Зв1. Цепь управления диффузионным насосом имеет блокировки: по включению форвакуумного насоса – (контакты 22,9 разъема Ш1), по наличию потока воды в системе охлаждения и перегреву корпуса насоса. Для блокировки по включению форвакуумного насоса в цепи пускателя Р1 включены контакты реле Р3 в блоке управления форвакуумным насосом  а1-У7. Контакт термореле S7,  установленного на корпусе диффузионного насоса, а также  контакт реле Р2 и блока А1-У5, контролирующего наличие потока воды в системе охлаждения установки (цепи 320,321), включены в цепь питания катушки реле Р3, а контакт реле Р3 включен в цепь катушки пускателя Р1. При наличии потока воды в системе охлаждения и нормальной температуре корпуса диффузионного насоса реле Р3 включено и его контакты в цепи пускателя Р1 замкнуты. При нажатии кнопки Кн2 срабатывает пускатель Р1 и подается напряжение питания на нагреватель диффузионного насоса, загорается сигнальная лампа Л1. При обрыве одной из спиралей трехфазного нагревателя диффузионного насоса на катушке реле появляется напряжение  127 В, реле срабатывает и появляется световой (лампа Л3) и звуковой  аварийный сигналы. Выключатель В2 служит для отключения звуковой сигнализации. При нарушении блокировок по работе форвакуумного насоса и по наличию протока охлаждающей воды также появляется световой (лампа Л2) и звуковой аварийные сигналы и происходит отключение  нагревателя диффузионного насоса.

5.2.9. Блок управления аппаратами А1-У9 предназначен для управления вентилями вакуумной системы А6-У5….А6-У8. Блок содержит пять аналогичных схем реверсивного управления приводами; каждая схема состоит из двух пускателей, двух кнопок управления (« закрыто») («открыто»), двух сигнальных ламп с добавочным сопротивлением. Кроме того имеется общий автоматический выключатель В1 и общая кнопка отключения питания Кн1.

При нажатии одной из кнопок, например, Кн4 или Кн5 срабатывает пускатель Р3 или Р4, привод вентиля получает питание , и после достижения задвижкой крайнего положения («закрыт» или «открыт») задействуется соответствующий конечный выключатель вентиля (В1 илиВ2) и разрывается цепь питания пускателя, загорается соответствующая сигнальная лампа. Кнопкой Кн1 осуществляется остановка любого из вентилей в промежуточных положениях.

4. Состав изделияК оглавлению6. Указание мер безопасности

Hosted by uCoz