3. Технические данные.

2.1. Габаритные размеры составных частей установки, мм не более:

Агрегат « Булат 6» :

- исполнений Ф.12560 и Ф.12560-01……..…………………2455 х 1736 х 2060;

- исполнений Ф.13595 и Ф.13595-01……………………….2340 х 1736 х 2060;

- стойка управления Ф11504 ……………………………………..500 х 650 х 1840;

- источник питания Ф. 12580 ………………………………………500 х 770 х 1840;

- выпрямитель ионной бомбардировки………………………..500 х 950 х1840;

               Ф.14275…………………………………………………….………….500 х 950 х 1840

2.2. Масса установки, кг не более…………………………………………………………...2500

2.3. Количество источников плазмы ……………………………………………………...…..3

2.4. Диаметр потока плазмы
на выходе источника плазмы, мм……..........................……………….….…..200

2.5. Максимальная площадь
поверхности напыления. дм² , не более …….......................………………...25

2.6. Максимальная скорость осаждения покрытия
одним источником  плазмы, мкм/ч,  не менее...................................…..90

2.7. Минимальная скорость осаждения покрытия
одним источником  плазмы, мкм/ч, не более……..................................….5

2.8. Скорость осаждения покрытия одним
источником плазмы на неподвижную
подложку в номинальном режиме
на расстоянии 50 мм от среза анода
регулируется в пределах, мкм/ч ……...................................……от 15 до 50

2.9. Максимальные размеры напыляемых деталей, мм, диаметр…………………400

2.10. Число оборотов шпинделя устройства поворотного, об/мин…….……………8

2.11. Допускается нагрузка на шпиндель
устройства поворотного, кг, не более ……………………............................…50

2.12. Длительность рабочего цикла, мин, не более ...………………………………….90

2.13. Количество инструмента, обрабатываемого
за один цикл (сверла  диам 5-6 мм, метчики М5,М6), шт……………………1500

2.14. Производительность установки в смену
(сверла диам 5-6 мм, метчики М5,М6), шт….......................………………..7500

2.15. Загрузка и выгрузка напыляемых деталей …………………………………….ручная

2.16. Предельное давление в рабочей камере,
Па (мм. рт. Ст.)  не более ……...............................……….1,3*10^-3  (1*10 ^{– 5})

2.17. Рабочее давление в камере в пределах, 
Па (мм.рт.ст.)…......от 6,5 * 10 ^{– 3} до 6,5 * 10 ^{– 1}( от 5.10 ^{– 5}  до 5 * 10 ^{– 3} )

2.18. Время откачки камеры до давления
6,5 Па (5 * 10 ^{– 2}  мм рт ст.), мин не более…….............................………….20

2.19. Время откачки камеры  до давления
1,3 * 10 ^{– 3} Па (1 *10 ^–5  мм рт ст.) насосом
высоко-вакуумным  паромасляным, мин,  не более ......………………………….30

3.20.  Натекание атмосферного воздуха
внутрь собранной установки и газоотделение
со стенок , л мкм рт ст./с,  не более …....…………………………………………...…0,9

3.21. Поддержание давления в камере на заданном уровне - автоматическое.

3.22. Прогрев и охлаждение устройств агрегата осуществляется водой.

3.23. Температура прогрева камеры,  анодов и каналов, ^оС, не менее....……….60

3.24. Расход воды, подаваемой в установку л/ч, не более....……………………..1200

3.25. Наибольшая электрическая мощность,
        потребляемая установкой, кВт, не более ……...............................…………50

3.26. Напряжение питания, В....…………………………………………………..….380 ± 10%

3.27. Частота напряжения питания, Гц…………………………........……………..50 ± 1%

3.28. Максимальное напряжение холостого хода
источников питания электродуговых
испарителей, В не менее …………………………………………………........………….100

3.29. Ток дуги, А,  не более….....………………………………………………………………..350

3.30. Регулировка тока дуги плавления в пределах, А, ………………….от 90 до 150

3.31. Возбуждение и поддержание дугового разряда,……….……. автоматическое

3.32. Напряжение  холостого хода  выпрямителя
ионной бомбардировки, кВ. не менее …….....................................……….1,7

3.33. Регулировка напряжения холостого хода  выпрямителя ионной бомбардировки, ступенчатая:

- 1-я ступень, кВ, не менее……..............................................…………….0,1

- 2-я ступень, кВ, не менее …………..............................................………0,3

-  3-я ступень, кВ, не менее ………….............................................………0,5

-  4-я ступень, кВ, не менее …………….............................................……0,8

-  5-я ступень, кВ, не менее ……….............................................…………1,1

-  6-я ступень, кВ, не менее ………………............................................….1,7

3.34. Регулировка напряжения каждой ступени - плавная, в пределах 50% от максимальной величины.

3.35. Максимальный ток в режиме
ионной бомбардировки,  А , не более …….................……………………………15

3.36. Максимальный ток в цепи подложки
в режиме осаждения покрытия. А , не более ….......................……………..25

3.37. Сопротивление изоляции между корпусом камеры
и подложкодержателем. Мом, не менее ……...........................................20

3.38. Сопротивление изоляции между источником
плазмы и корпусом камеры, Мом, не менее ……….....................................1

3.39. Сопротивление между устройством заземления
и любой металлической частью установки, кроме
конструктивно изолированных элементов ,Ом, не более …………………….0,1

3.40. Расход воздуха при вентиляции
вакуумной камеры агрегата,м м³/ч, не менее …………………....................200

*Примечание. Рекомендуемый вентилятор – тип Ц-13-50 №2 (исполнение 1).

3.41.Установка обеспечивает вход годных изделий не менее.…………………...98%

3.42. Установка обеспечивает непрерывную работу 
в течение , ч, не менее ………………………….......................................……….4

3.43. Установка сохраняет работоспособность при отклонениях напряжения в питающей сети на ±10 % от номинального значения.